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Micromáquina

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Um ácaro aranha ao lado de uma micro engrenagem.

Micromáquinas são objetos mecânicos que são fabricados da mesma maneira geral como circuitos integrados. Seu tamanho geralmente é estimado entre 100 nanômetros a 100 micrômetros de tamanho, embora isso seja discutível[1][2][3].

Referências

  1. «MEMS Etch Stop Application for BoronPlus Sources Micro Machining». Consultado em 10 de maio de 2017. Arquivado do original em 7 de maio de 2017 
  2. L.Vintro, Can Micromachining Deliver? Solid State Technology, Abril, 1995, pp. 57-61
  3. K.D.Wise, "Silicon Micromachining and Its Application to High-performance Integrated Sensors", Micromachining and Micro-packaging of Transducers, edited by C.D.Fung, P.W.Cheung, W.H.Ko and D.G.Fleming, Elsevier Science Publishers B.V., Amsterdam, 1985, pp. 3-18
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