Micromáquina

Micromáquinas são objetos mecânicos que são fabricados da mesma maneira geral como circuitos integrados. Seu tamanho geralmente é estimado entre 100 nanômetros a 100 micrômetros de tamanho, embora isso seja discutível^[1]^[2]^[3].

Referências

↑ «MEMS Etch Stop Application for BoronPlus Sources Micro Machining». Consultado em 10 de maio de 2017. Arquivado do original em 7 de maio de 2017
↑ L.Vintro, Can Micromachining Deliver? Solid State Technology, Abril, 1995, pp. 57-61
↑ K.D.Wise, "Silicon Micromachining and Its Application to High-performance Integrated Sensors", Micromachining and Micro-packaging of Transducers, edited by C.D.Fung, P.W.Cheung, W.H.Ko and D.G.Fleming, Elsevier Science Publishers B.V., Amsterdam, 1985, pp. 3-18

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[1] «MEMS Etch Stop Application for BoronPlus Sources Micro Machining». Consultado em 10 de maio de 2017. Arquivado do original em 7 de maio de 2017

[2] L.Vintro, Can Micromachining Deliver? Solid State Technology, Abril, 1995, pp. 57-61

[3] K.D.Wise, "Silicon Micromachining and Its Application to High-performance Integrated Sensors", Micromachining and Micro-packaging of Transducers, edited by C.D.Fung, P.W.Cheung, W.H.Ko and D.G.Fleming, Elsevier Science Publishers B.V., Amsterdam, 1985, pp. 3-18

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